MONOZUKURI リアルサーフェイス顕微鏡
クリーンルーム内で作製した各種マイクロチップの微細立体構造や表面性状を、蒸着などの前処理なく、広範囲の倍率で観測・計測ができます
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー |
(株)キーエンス VE-7800 |
| 型式・番号 | VE-7800 |
| 導入年度 | 2004年度 |
| ポイント・仕様 |
倍率：15倍～100,000倍(観察モード・対象物で変わります) 観察像：2次電子像 最大試料サイズ：φ64mm 計測機能：2点間距離、角度ほか |
| 用途 | クリーンルーム内で作製した各種マイクロチップの微細立体構造や表面性状を観測・計測 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |