MONOZUKURI 真空蒸着装置
真空中で電子ビームによって材料を加熱し、薄膜を作製します。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | 日本真空技術 |
| 型式・番号 | EX-400SP |
| 導入年度 | 1999年度 |
| ポイント・仕様 |
到達真空度：1×10-4Pa 蒸着源：電子ビーム加熱・最高出力5KW 蒸着源4個 基板加熱：最高300℃ |
| 用途 | デバイス作製プロセスにおける金属膜の作製、光学多層膜や機能性薄膜の作製 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |