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走査型電子顕微鏡
日本電子(株)、オックスフォート・インストゥルメンツ(株)
本装置は、試料の表面に電子線を照射し、検出される二次電子や反射電子によって、高倍率で表面を観察するための設備です。 また、エネルギー分散型X線分析装置を備えており、特性X線による元素分析も可能です。