成果報告・文献 詳細

ドライプロセスによるナノ構造作製技術の開発

執筆者 小幡勤、丹保浩行
利用状況 ダウンロード可
対応分野
  • 加工
キーワード インプリント 、ドライプロセス、パリレン 、転写
刊行年度 2017年度
文献分類 成果報告書
掲載元 富山県工業技術センター研究報告 No.31 2017
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