成果報告・文献 詳細

有機溶媒を不要とする電子線微細加工用プルラン系水溶性レジスト材料の開発 

執筆者 横山義之
利用状況 ダウンロード可
対応分野
  • 材料
  • 化学
キーワード
刊行年度 2015年度
文献分類 成果報告書
掲載元 富山県工業技術センター研究報告 No.29 2015
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