事例の紹介 詳細

生体適合性と感光性を併せ持つ材料の開発

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対応分野
  • 材料
キーワード バイオレジスト
微小・薄膜
加工
ポイント 薄膜を形成できるバイオレジストの開発
開発したバイオレジストは、シリコン基板上で1μm以下の薄膜を形成でき、薄膜状態でも良好な光パターニングが可能
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