MONOZUKURI 低コストで環境負荷の低い微細加工工程に関する研究とその応用に向けた検討
| 対応分野 |
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| キーワード |
微細加工 環境負荷 MEMS |
| ポイント | 低コスト、Siの異方性エッチングが可能、温室効果ガスを用いないなどの利点を持つメタルアシストエッチング法（MacEtch法）による微細加工法について検討を行いました。 |
| お問い合わせ | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |