MONOZUKURI マイクロX線光電子分光分析
本装置では、試料表面にＸ線を照射し、放出される光電子のエネルギーを測定することにより、極表面に存在する元素組成を分析します。
定性分析：表面から数nmに存在する元素を調べます。
深さ方向分析：イオン銃によるエッチングと測定を繰り返すことで深さ方向の元素分布を調べます。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | アルバック・ファイ株式会社 |
| 型式・番号 | |
| 導入年度 | 2018年度 |
| ポイント・仕様 |
・最小分析径：10μmφ ・X線源：Alモノクロ、Mg、Zr ・帯電中和機構 ・イオン銃 Arイオン銃：金属、無機材料用 Arガスクラスターイオン銃：有機材料用 |
| 用途 |
・めっきや金属材料の変色原因調査 ・はんだづけ不良や接着不良の原因調査 ・薄膜電極やセンサの構造評価 ・表面処理した有機材料の評価 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 |