MONOZUKURI プラズマＣＶＤ装置
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | サムコインターナショナル(株) |
| 型式・番号 | |
| 導入年度 | 2000年度 |
| ポイント・仕様 |
膜の種類：SiO2 薄膜材料：TEOS、NH3 |
| 用途 | 酸化シリコン膜の形成 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 1290 |
| 使用料（県外）円/時間 | 1930 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | ガス等原材料費の実費を別途徴収します。 |