MONOZUKURI マスクボンディングアライナー
半導体微細加工において、微細パターン形成及びマスクアライメントを行う。フォトマスクに描かれたパターンを、感光剤が塗られた基板に転写したり、ガラスとシリコンを重ねて接合する際に、両者間の位置合わせをすることが可能である。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | ズース・マイクロテック(株) |
| 型式・番号 | SUSS MA6 LH350 SPEC-TIT/01 |
| 導入年度 | 2005年度 |
| ポイント・仕様 |
現像度：0.7μm以下 顕微鏡：上部・下部2視野 15mm 光学露光部：1インチ角、直径4インチ対応 |
| 用途 | フォトリソグラフィや2接合する2枚の基板アライメント |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 1480 |
| 使用料（県外）円/時間 | 2220 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | ガス等原材料費の実費を別途徴収します。 |