MONOZUKURI イオンビームスパッタ装置
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
|---|---|
| 対応分野 |
|
| 使用目的 |
|
| メーカー | 三菱電機(株) |
| 型式・番号 | |
| 導入年度 | 1988年度 |
| ポイント・仕様 |
カウフマン型イオン源 クラスタ型イオン源 ターボ分子ポンプ |
| 用途 | 薄膜材料の作製(電子材料超硬材料) |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |