設備機器 詳細

イオンビームスパッタ装置

設備機器概要
利用状況 依頼試験のみ
対応分野
  • 加工
使用目的
  • 試作・加工
メーカー 三菱電機(株)
型式・番号
導入年度 1988年度
ポイント・仕様 カウフマン型イオン源
クラスタ型イオン源
ターボ分子ポンプ
用途 薄膜材料の作製(電子材料超硬材料)
活用事例
利用上の注意
使用料(県内)円/時間
使用料(県外)円/時間
設置場所(所属名) 産業技術研究開発センター
担当機関 ものづくり研究開発センター
郵便番号 〒933-0981
所在地 富山県高岡市二上町150
TEL 0766-21-2121
FAX 0766-21-2402
備考