MONOZUKURI 多層膜真空蒸着装置
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | 日本真空 |
| 型式・番号 | EX-400-D06-E |
| 導入年度 | 1989年度 |
| ポイント・仕様 |
到達真空度：10-7Torr 基盤加熱温度：200℃以上 蒸着方式：4連式電子銃 |
| 用途 | 高真空下においての単層膜または多層膜の作成 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |