設備機器 詳細

光干渉式膜厚測定装置(ナノスペック段差計)

光干渉方式により、基板上の薄膜等の膜厚、反射率等を評価する。

設備機器概要
利用状況 設備利用・予約可
対応分野
  • 材料
使用目的
  • 観察・精密計測
メーカー ナノメトリクス・ジャパン(株)
型式・番号 Nanospec
導入年度 1999年度
ポイント・仕様 膜厚測定範囲:100A~60μm 
測定波長範囲:400~900nm  
用途 フォトレジストや酸化膜等の膜厚測定。
活用事例
利用上の注意 ガス等原材料費の実費を別途徴収します。
使用料(県内)円/時間 380
使用料(県外)円/時間 570
設置場所(所属名) 産業技術研究開発センター
担当機関 ものづくり研究開発センター
郵便番号 〒933-0981
所在地 富山県高岡市二上町150
TEL 0766-21-2121
FAX 0766-21-2402
備考