MONOZUKURI 可変風量システム付ドラフトチャンバー
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | (株)ダルトン |
| 型式・番号 | |
| 導入年度 | 2009年度 |
| ポイント・仕様 |
エッチング・洗浄用塩化ビニル製ドラフトチャンバー 有機洗浄用SUS製ドラフトチャンバー アルカリ現像、エッチング用塩化ビニル製ドラフトチャンバー レジスト塗布用SUS製クリーンドラフトチャンバー 可変風量システム |
| 用途 | 基板の洗浄やエッチング、フォトリソグラフィ工程におけるレジスト塗布及び現像を安全に作業するために必要な環境の提供。安全な作業に最適な排気風量を自動制御にて確保可能です。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は－経済危機対策臨時交付金－で導入しました。 |