大容量超純水製造装置
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | オルガノ(株) |
| 型式・番号 | |
| 導入年度 | 2002年度 |
| ポイント・仕様 |
比抵抗値:18MΩ・cm以上 TOC:100μg/L以下 採水量:max1000L/時 |
| 用途 | 半導体製造に供する超純水の製造 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料(県内)円/時間 | |
| 使用料(県外)円/時間 | |
| 設置場所(所属名) | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 |