MONOZUKURI X線マイクロアナライザー
電子線を試料に照射してSEM像を観察するとともに、発生する特性X線を検出して微小領域での元素分析、マッピング(二次元的な分布の分析)を行う装置である。波長分散型X線分光器を備え、微量元素の高感度分析が可能である。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | 日本電子(株) |
| 型式・番号 | JXA-8230 |
| 導入年度 | 2013年度 |
| ポイント・仕様 |
・分析元素範囲：B～U ・二次電子分解能：5nm(LaB6フィラメントの場合) ・波長分散型X線分光器数：5基 ・加速電圧：0.2～30kV |
| 用途 | 電子部品、機械部品、その他様々な材料の微小領域での元素分析、マッピングに利用される。また、微小異物や微小異常部の元素分析、マッピングにも利用される。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 | 本設備は、公益財団法人JKA(旧日本自転車振興会)補助事業で導入しました。 |