MONOZUKURI オージェ電子分光分析装置
試料表面に電子ビームを照射し、試料の極表面より出てきたオージェ電子を検出することで、微小かつ表面から極めて浅い領域に存在する元素の定性・定量分析および元素の面内分布・深さ方向分布を測定することができます。
| 利用状況 | 依頼試験のみ |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | 日本電子(株) |
| 型式・番号 | JAMP-9500F |
| 導入年度 | 2011年度 |
| ポイント・仕様 |
・オージェ分析時の最小空間分解能：8nm以下 ・帯電中和機構付属 ・イオン銃による深さ方向分析が可能 |
| 用途 | 電子部品の電極、めっき、金属製品の変色など、金属の微小部分の観察や分析に利用できます。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 | 本設備は経済産業省資源エネルギー庁補助事業－電源立地地域対策交付金－で導入しました。 |