MONOZUKURI プラズマリアクター
本装置は、反応容器内の対象物に、酸素プラズマを照射することにより、対象物のクリーニングや表面の改質をすることができます。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | ヤマト科学(株) |
| 型式・番号 | PR-301 |
| 導入年度 | 2015年度 |
| ポイント・仕様 |
・反応容器容積：φ118mm×160mm(1.75Ｌ) ・プラズマ種：酸素プラズマ ・高周波電源：0～300W、13.56 MHz |
| 用途 | フォトレジスト、フラックス、油膜等の除去や基板のクリーニング。多層コーティング膜の下地づくり。親水性付加等の表面改質。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 570 |
| 使用料（県外）円/時間 | 850 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 | 本設備は経済産業省資源エネルギー庁補助事業－電源立地地域対策交付金－で導入しました。 |