MONOZUKURI 非接触三次元粗さ測定装置
材料や製品の表面の三次元形状(うねり、段差、表面粗さ)を非接触で測定できる装置です。測定結果の三次元可視化やデータ出力もできます。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | Zygo Corporation |
| 型式・番号 | NewView 7300 |
| 導入年度 | 2009年度 |
| ポイント・仕様 |
・垂直分解能：0.1nm ・垂直測定範囲：20mm ・観察視野：0.05×0.05mm～φ21.91mm ・測定原理：走査型白色干渉法及び周波数領域解析による ・データ出力：カラーマップ、数値データ |
| 用途 |
・部品や材料の表面形状や粗さの測定ができます。 ・基材と膜の間の段差を測定することで、膜厚を測定することができます。(不透明な膜のみ可) ・接触式プローブによる変形・損傷を嫌う柔軟材料の表面形状測定ができます。 ・SEM観察しづらい表面の凹凸観察に利用できます。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | |
| 使用料（県外）円/時間 | |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | 機械電子研究所 |
| 郵便番号 | 〒930-0866 |
| 所在地 | 富山県富山市高田383番地 |
| TEL | 076-433-5466 |
| FAX | 076-433-5472 |
| 備考 |