MONOZUKURI 電界放出形走査電子顕微鏡
細く絞った電子線を試料表面に照射・走査し、発生する信号を検出して、微細構造の観察や元素組成分析、および結晶方位解析を行う装置です。
サーマルショットキー電界放出形電子銃を使用しており、幅広い材料についてナノオーダーで表面観察することが可能であり、また大照射電流により分析にも適しています。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
|---|---|
| 対応分野 |
|
| 使用目的 |
|
| メーカー | 日本電子(株) |
| 型式・番号 | JSM-7001FTTLS |
| 導入年度 | 2010年度 |
| ポイント・仕様 |
・電子銃 サーマルショットキー電界放出形電子銃 ・倍率 10倍～1,000,000倍 ・加速電圧 0.1kV～30kV ・照射電流 1pA～200nA ・分析機能 元素組成分析(EDS)，結晶方位解析(EBSD) EDS/EBSD同時測定可能 |
| 用途 |
・二次電子像による表面構造の観察 例）10万倍以上の高倍率での観察，照射エネルギーを制御した最表面の微細構造や絶縁体試料の観察など ・反射電子像による組成分布の観察 ・ナノ領域の元素組成分析 ・金属やセラミックスの結晶方位解析 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 6640 |
| 使用料（県外）円/時間 | 9960 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、独立行政法人 科学技術振興機構(JST)地域産学官共同研究拠点整備事業で導入しました。 |