設備機器 詳細

非接触3次元形状測定器

試料に光を照射し、表面形状に応じた干渉縞のデータを収集することで、試料の3次元表面性状(表面粗さ、うねり、段差)を、非接触で高精度かつ短時間に測定できる装置です。

設備機器概要
利用状況 設備利用・予約可
対応分野
  • 材料
使用目的
  • 観察・精密計測
メーカー ZYGO Corporation
型式・番号 Nexview
導入年度 2017年度
ポイント・仕様 ・垂直分解能:0.005 nm
・垂直測定範囲:20mm
・対物レンズ: 1倍、2.75倍、10倍、20倍、50倍、100倍
・観察視野:0.04 mm×0.04 mm ~200 mm×200 mm(スティッチング使用時)
・測定原理:垂直走査低コヒーレンス干渉法
・最大試料サイズ: 203mm×203mm×89mm
用途 セルロースナノファイバーを利用した製品等の各種製品の3次元表面性状を、表面を損傷させずに測定することができます。ウエハ等の極めて平滑な表面から、機械加工面、積層造形品表面などの粗い表面まで対応することができ、測定結果を基に、3次元粗さ、うねり、段差等を高さ方向にナノメートル以下の分解能で評価することができます。
活用事例
利用上の注意
使用料(県内)円/時間 1760
使用料(県外)円/時間 2640
設置場所(所属名) 産業技術研究開発センター
担当機関 ものづくり研究開発センター
郵便番号 〒933-0981
所在地 富山県高岡市二上町150
TEL 0766-21-2121
FAX 0766-21-2402
備考 本設備は、文科省:地域産学官連携科学技術振興事業で導入しました。