MONOZUKURI 非接触3次元形状測定器
試料に光を照射し、表面形状に応じた干渉縞のデータを収集することで、試料の3次元表面性状(表面粗さ、うねり、段差)を、非接触で高精度かつ短時間に測定できる装置です。
| 利用状況 | 設備利用・予約可 |
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| 対応分野 |
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| 使用目的 |
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| メーカー | ZYGO Corporation |
| 型式・番号 | Nexview |
| 導入年度 | 2017年度 |
| ポイント・仕様 |
・垂直分解能：0.005 nm ・垂直測定範囲：20mm ・対物レンズ: 1倍、2.75倍、10倍、20倍、50倍、100倍 ・観察視野：0.04 mm×0.04 mm ～200 mm×200 mm(スティッチング使用時) ・測定原理：垂直走査低コヒーレンス干渉法 ・最大試料サイズ: 203mm×203mm×89mm |
| 用途 | セルロースナノファイバーを利用した製品等の各種製品の3次元表面性状を、表面を損傷させずに測定することができます。ウエハ等の極めて平滑な表面から、機械加工面、積層造形品表面などの粗い表面まで対応することができ、測定結果を基に、3次元粗さ、うねり、段差等を高さ方向にナノメートル以下の分解能で評価することができます。 |
| 活用事例 | |
| 利用上の注意 | |
| 使用料（県内）円/時間 | 1790 |
| 使用料（県外）円/時間 | 2680 |
| 設置場所（所属名） | 産業技術研究開発センター |
| 担当機関 | ものづくり研究開発センター |
| 郵便番号 | 〒933-0981 |
| 所在地 | 富山県高岡市二上町150 |
| TEL | 0766-21-2121 |
| FAX | 0766-21-2402 |
| 備考 | 本設備は、文科省：地域産学官連携科学技術振興事業で導入しました。 |