設備機器 詳細

イオンミリング装置

試料に、アルゴンイオンを照射し、試料原子を弾き飛ばすことで、任意の試料観察面(断面または表面)の加工・調整ができる装置です。また、-100℃まで冷却可能であり、低温環境下に試料を温度調節して加工する機能も有しています。

設備機器概要
利用状況 設備利用・予約可
対応分野
  • 加工
使用目的
  • 試作・加工
メーカー (株)日立ハイテクノロジーズ
型式・番号 冷却温度調整機能付きIM4000PLUS
導入年度 2017年度
ポイント・仕様 ・試料サイズ :20×12×7mm(断面加工:線材など) φ50×25mm(表面加工: 埋込試料など)
・最大加工速度:500μm/hr(Si, 断面加工)
・温度調節範囲: -100~0 ℃(断面加工のみ)
・加工可能材料: 樹脂材料、金属材料、セラミックス など
用途 アルゴンイオンのスパッタリング現象を応用した加工のため、試料へのダメージを少なくでき、機械研磨などの従来手法では困難な材料でも適用可能です。
本設備は、ひずみや熱影響を抑制できるため、セルロースナノファイバー(CNF)複合化プラスチック材料のCNF分散状態評価をはじめとした高度な試料調整に活用でき、製品開発や品質管理に貢献します。
活用事例
利用上の注意
使用料(県内)円/時間 2020
使用料(県外)円/時間 3030
設置場所(所属名) 産業技術研究開発センター
担当機関 ものづくり研究開発センター
郵便番号 〒933-0981
所在地 富山県高岡市二上町150
TEL 0766-21-2121
FAX 0766-21-2402
備考 本設備は、文科省:地域産学官連携科学技術振興事業で導入しました。